| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230048785 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | NanoTech 2000, Montreux, CH, November 28-30, 2000 |