Mikro-Fertigung von Bauteilen unter Reinraumbedingungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230048796 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Fachseminar Grundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 23.-24.November 2000 |