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Mikro-Fertigung von Bauteilen unter Reinraumbedingungen

Ruprecht, R.; Saile, V.; Hausselt, J.H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230048796
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Fachseminar Grundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 23.-24.November 2000
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