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Zerstörungsfreie HF-Untersuchung von HTS-Schichten zur produktionsbegleitenden Wafer-Qualifizierung

Schwab, R.; Gaganidze, E.; Heidinger, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230048850
HGF-Programm 34.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Tagung Kryoelektrische Bauelemente 2000, Erlangen, 8.-10.Oktober 2000
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