Detection sensitivity of cantilevers for atomic force microscopy under combined normal and lateral load using parameterized finite element model

Müller, M.; Schimmel, Th.; Fettig, H.; Häussler, P.; Müller, O.; Albers, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230049081
HGF-Programm	42.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	65.Physikertagung gemeinsam mit der Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik der DPG, Hamburg, 26.-30. März 2001 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.36 (2001) O 25.58
Externe Relationen	Abstract/Volltext