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Detection sensitivity of cantilevers for atomic force microscopy under combined normal and lateral load using parameterized finite element model

Müller, M.; Schimmel, Th.; Fettig, H.; Häussler, P.; Müller, O.; Albers, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230049081
HGF-Programm 42.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 65.Physikertagung gemeinsam mit der Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik der DPG, Hamburg, 26.-30. März 2001 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.36 (2001) O 25.58
URLs Abstract (HTML)
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