Eine 3-Kammer-Sputteranlage zur Beschichtung von grossflächigen Substraten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230049121 |
| HGF-Programm | 45.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 65.Physikertagung gemeinsam mit der Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik der DPG, Hamburg, 26.-30. März 2001 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.36 (2001) TT 25.22 |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |