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Eine 3-Kammer-Sputteranlage zur Beschichtung von grossflächigen Substraten

Geerk, J.; Zaitsev, A.; Linker, G.; Aidam, R.; Schneider, R.; Ratzel, F.; Fromknecht, R.; Scheerer, B.; Rainer, H.; Gaganidze, E.; Schwab, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Festkörperphysik (IFP)
Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230049121
HGF-Programm 45.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 65.Physikertagung gemeinsam mit der Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik der DPG, Hamburg, 26.-30. März 2001 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.36 (2001) TT 25.22
URLs Abstract (HTML)
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