Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230049428 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems (MSM), Hilton Head Island, S.C., March 19-21, 2001 |