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Passive Justage von mikrooptischen Systemen mit Hilfe der LIGA-Technik

Wallrabe, U.; Friedsam, G.; Oka, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230049453
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk ITG-Workshop 'Optische Aufbau- und Verbindungstechnik', Berlin, 16.Mai 2001
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