Passive Justage von mikrooptischen Systemen mit Hilfe der LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230049453 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | ITG-Workshop 'Optische Aufbau- und Verbindungstechnik', Berlin, 16.Mai 2001 |