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Al₂O₃ gradient coatings produced by IBAD as gaspermeable membranes for an electronic nose microsystem

Frietsch, M.; Schneider, T.; Trouillet, V.; Goschnick, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230049664
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001
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