Fertigung von Mikrostrukturen und Mikrosystemkomponenten unter Nutzung der Synchrotronstrahlungsquelle ANKA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230049932 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Technische Universität Ilmenau, 31.Mai 2001 |