Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230049933 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Transducers '01 : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001 |