Low-cost flow transducer fabricated with the AMANDA-process

Dittmann, D.; Ahrens, R.; Rummler, Z.; Schlote-Holubek, K.; Schomburg, W. K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230049933
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Transducers '01 : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001