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Low-cost flow transducer fabricated with the AMANDA-process

Dittmann, D.; Ahrens, R.; Rummler, Z.; Schlote-Holubek, K.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230049933
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Transducers '01 : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001
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