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Center for materials for microtechnology in Karlsruhe

Bley, P.; Hausselt, J.; Moritz, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230049949
HGF-Programm 41.09.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 6th Internat.Conf.on the Commercialisation of Microsystems (COMS 2001), Oxford, GB, September 2-6, 2001
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