Center for materials for microtechnology in Karlsruhe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230049949 |
| HGF-Programm | 41.09.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 6th Internat.Conf.on the Commercialisation of Microsystems (COMS 2001), Oxford, GB, September 2-6, 2001 |