A modular fabrication concept for micro optical systems

Mohr, J.; Last, A.; Hollenbach, U.; Oka, T.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230050007
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Workshop 'Optical MEMS and Integrated Optics', Dortmund, June 11-12, 2001