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A modular fabrication concept for micro optical systems

Mohr, J.; Last, A.; Hollenbach, U.; Oka, T.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230050007
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Workshop 'Optical MEMS and Integrated Optics', Dortmund, June 11-12, 2001
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