A modular concept to fabricate micro optical systems
Mohr, J.; Last, A.
; Hollenbach, U.; Oka, T.; Wallrabe, U.
; Hollenbach, U.; Oka, T.; Wallrabe, U.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230050008 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Workshop 'Optical MEMS and Integrated Optics', Dortmund, June 11-12, 2001 |