Scalable opto-electromechanical switch array with passively aligned free-space optical components

Ruzzu, A.; Dieckmann, A.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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seit 13.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230050009
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Workshop 'Optical MEMS and Integrated Optics', Dortmund, June 11-12, 2001