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Scalable opto-electromechanical switch array with passively aligned free-space optical components

Ruzzu, A.; Dieckmann, A.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230050009
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Workshop 'Optical MEMS and Integrated Optics', Dortmund, June 11-12, 2001
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