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Electroplated nickel-iron alloy as material for LIGA-mould inserts

Bade, K.; Fath, A.; Winkler, F.; Leskopf, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230050015
HGF-Programm 41.09.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001
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