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Bestimmung des Dickegradienten von inhomogenen SiO₂-Membranen auf einem Gassensor-Multilagen-System

Goschnick, J.; Frietsch, M.; Schneider, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230050018
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 11.Tagung Festkörperanalytik, Chemnitz, 25.-28.Juni 2001
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