Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230050066 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Fachtagung und Workshop 'Mikrofertigungstechniken' Universität Karlsruhe, 25.Juni 2001 |