Growth effects in carbon coatings deposited by magnetron sputtering

Vetter, J.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Holleck, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230050135
HGF-Programm	42 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001