Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230050334 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 6th Internat.Conf.on the Commercialization of Microsystems (COMS 2001), Oxford, GB, September 2-6, 2001 |