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Fabrication of polymer micro-components and -systems

Bacher, W.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230050366
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Industrial Fair, Kobe, J, September 26-28, 2001 Vortr.: Himeji Institute of Technology, J, 2.Oktober 2001
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