Laser assisted patterning of polymers and CE-Chip production with motorized mask
Torge, M.; Pfleging, W.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230050659 |
| HGF-Programm | 41.08.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts |