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Laser assisted patterning of polymers and CE-Chip production with motorized mask

Torge, M.; Pfleging, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230050659
HGF-Programm 41.08.03; LK 01
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts
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