KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Surface and micro analytical characterization of silicon carbonitride thin films

Lutz, H.; Baumann, H.; Nold, E.; Bruns, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230050685
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 9th European Conf.on Applied Surface and Interface Analysis (ECASIA 01), Avignon, F, September 30 - October 5, 2001
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page