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Surface and micro analytical characterization of silicon carbonitride thin films

Lutz, H.; Baumann, H.; Nold, E.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230050685
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 9th European Conf.on Applied Surface and Interface Analysis (ECASIA 01), Avignon, F, September 30 - October 5, 2001
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