Surface and micro analytical characterization of silicon carbonitride thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230050685 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 9th European Conf.on Applied Surface and Interface Analysis (ECASIA 01), Avignon, F, September 30 - October 5, 2001 |