On the preparation of silicon carbonitride compounds
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230050788 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 15th Internat.Vacuum Congress of the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA), San Francisco, Calif., October 28 - November 2, 2001 |