On the preparation of silicon carbonitride compounds

Lutz, H.; Bruns, M.; Theodossiu, E.; Baumann, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230050788
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	15th Internat.Vacuum Congress of the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA), San Francisco, Calif., October 28 - November 2, 2001