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Influence of the energy of sputtered carbon atoms on the structure of diamond like carbon thin films

Ulrich, S.; Schwan, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230051060
HGF-Programm 42; LK 01
Erscheinungsvermerk 12th European Conf.on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, Nitride and Silicon Carbide (Diamond 2001), Budapest, H, September 2-9, 2001
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