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Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered Al-Cr-N thin films

Sattel, S.; Pesch, P.; Loos, R.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230051065
HGF-Programm 42; LK 01
Erscheinungsvermerk 28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001
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