Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered Al-Cr-N thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230051065 |
| HGF-Programm | 42 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001 |