Beispiele für typische messtechnische Aufgabenstellungen in der Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230051484 |
| HGF-Programm | 41.98.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 168.PTB-Seminar 'Dimensionelle Messtechnik für Mikrostrukturen' Physikalisch-technische Bundesanstalt, Braunschweig, 22.November 2000 |