Fabrication of micro-optical components and systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230051708 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 274.WE-Heraeus-Seminar, Bad Honnef, 22.-24.April 2002 |