Silicon carbonitride compounds: Combined R.F.magnetron sputtering and ion beam synthesis
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230051738 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2002), San Diego, Calif., April 22-26, 2002 |