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Silicon carbonitride compounds: Combined R.F.magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Lutz, H.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230051738
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2002), San Diego, Calif., April 22-26, 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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