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Status und Perspektiven der LIGA-Technik

Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230051799
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Seminar am Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen, Erlangen, 6.Mai 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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