Status und Perspektiven der LIGA-Technik
Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230051799 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Seminar am Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen, Erlangen, 6.Mai 2002 |