Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230051997 |
HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 6.FIF-Workshop, Hannover, 17.-18.April 2002 |