MEMS and Nanofabrication using synchrotron technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052002 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 2nd Workshop on MEMs/Nanotechnology at the Canadian Light Source Synchrotron, Saskatoon, CDN, May 28, 2002 MEMS/Nanotechnology Synchrotron Workshop, University of Alberta, Edmonton, CDN, May 30, 2002 |