Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230052100 |
HGF-Programm | 51.04.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | CAMD Summer Workshop 2002, Baton Rouge, La., June 3-8, 2002 |