| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052107 |
| HGF-Programm | 51.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vacuum Technology : 49th Internat.Symp.of the American Vacuum Soc., Denver, Colo., November 4-8, 2002 |