Deep X-ray lithography characteristics of SU-8 photo-resist
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052402 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 14th Russian Synchrotron Radiation Conf., (SR-2002), Novosibirsk, Russia, July 15-19, 2002 |