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Deep X-ray lithography characteristics of SU-8 photo-resist

Reznikova, E.F.; Nazmov, V.P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230052402
HGF-Programm 51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 14th Russian Synchrotron Radiation Conf., (SR-2002), Novosibirsk, Russia, July 15-19, 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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