Kinoform lens creation in polymer materials by deep X-ray lithography method

Nazmov, V.; Shabelnikov, L.; Pantenburg, F. J.; Mohr, J.; Reznikova, E.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230052403
HGF-Programm	51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	14th Russian Synchrotron Radiation Conf., (SR-2002), Novosibirsk, Russia, July 15-19, 2002