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Testing of X-ray absorption of deep X-ray lithography materials

Nazmov, V.; Rothe, J.; Reznikova, E.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230052404
HGF-Programm 51.04.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 14th Russian Synchrotron Radiation Conf., (SR-2002), Novosibirsk, Russia, July 15-19, 2002
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