Preceramic polymers in UV- and X-ray lithography
Schulz, M.
; Hanemann, T.; Hausselt, J. H.; Börner, M.; Göttert, J.; Motz, G.
; Hanemann, T.; Hausselt, J. H.; Börner, M.; Göttert, J.; Motz, G.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052641 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Junior Euromat 2002, Lausanne, CH, September 2-5, 2002 |