Charakterisierung reaktiv gesputterter dünner Si₃N₄-Schichten

Schmidt, H.; Gruber, W.; Borchardt, G.; Baumann, H.; Rudolphi, M.; Bruns, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230052696
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA 12), Kaiserslautern, 15.-19.September 2002