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Charakterisierung reaktiv gesputterter dünner Si₃N₄-Schichten

Schmidt, H.; Gruber, W.; Borchardt, G.; Baumann, H.; Rudolphi, M.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230052696
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA 12), Kaiserslautern, 15.-19.September 2002
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