UV- and deep X-ray lithography on preceramic polymers

; Hanemann, T.; Hausselt, J.; Motz, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230052805
HGF-Programm	41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Materials Week 2002 : European Congress on Advanced Materials, their Processes and Applications, München, September 30 - October 2, 2002