Micro ball valves with a magnetic drive manufactured by multilayer adhesive film bonding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052842 |
| HGF-Programm | 41.09.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002 |