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Micro ball valves with a magnetic drive manufactured by multilayer adhesive film bonding

Fu, C.; Rummler, Z.; Schomburg, W.K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230052842
HGF-Programm 41.09.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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