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Herstellung von mikrostrukturierten Schattenmasken für PVD-Verfahren durch Kombination aus UV-Lithographie und Mikrogalvanoformung

Guttmann, M.; Wilson, S.; Winkler, F.; Bade, K.; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230052846
HGF-Programm 41.05.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik (DGO), Freiburg, 18.-20.September 2002
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