Herstellung von mikrostrukturierten Schattenmasken für PVD-Verfahren durch Kombination aus UV-Lithographie und Mikrogalvanoformung
Guttmann, M.
; Wilson, S.; Winkler, F.; Bade, K.
; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.
; Wilson, S.; Winkler, F.; Bade, K.
; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052846 |
| HGF-Programm | 41.05.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für Galvano- und Oberflächentechnik (DGO), Freiburg, 18.-20.September 2002 |