UV lithography and electroforming for fabrication of microstructured shadow masks as tools for PVD
Guttmann, M.
; Wilson, S.; Bade, K.
; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.
; Wilson, S.; Bade, K.
; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052847 |
| HGF-Programm | 41.05.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 53rd Annual Meeting of the Internat.Society of Electrochemistry, Düsseldorf, September 15-20, 2002 |