UV lithography and electroforming for fabrication of microstructured shadow masks as tools for PVD

; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230052847
HGF-Programm	41.05.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	53rd Annual Meeting of the Internat.Society of Electrochemistry, Düsseldorf, September 15-20, 2002