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UV lithography and electroforming for fabrication of microstructured shadow masks as tools for PVD

Guttmann, M.; Wilson, S.; Bade, K.; Hein, H.; Kramer, C.; Schulz, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230052847
HGF-Programm 41.05.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 53rd Annual Meeting of the Internat.Society of Electrochemistry, Düsseldorf, September 15-20, 2002
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