| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052852 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Kurs 'Polymer Microfabrication' derFondation Suisse pour la Recherche en Microtechnique (FSRM), Barcelona, E, 30.September - 1.Oktober 2002 |