Automatische Optimierung der Parameter für SNMS-Hochfrequenzsputtern in der Betriebssoftware für die INA3
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230052903 |
| HGF-Programm | 61.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA 12), Kaiserslautern, 15.-19.September 2002 |