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Automatische Optimierung der Parameter für SNMS-Hochfrequenzsputtern in der Betriebssoftware für die INA3

Goschnick, J.; Sommer, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230052903
HGF-Programm 61.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA 12), Kaiserslautern, 15.-19.September 2002
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