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Study of high sensitive mass sensor based on shear horizontal mode acoustic wave in layered structure

Kondoh, J.; Shiokawa, S.; Rapp, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230052906
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 202th Meeting of the Electrochemical Society, Salt Lake City, Utah, October 20-24, 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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