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LIGA - history, technology, achievements

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230053125
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Himeji Institute of Technology, Himeji, J, 19.November 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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