KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Magnetron sputtered cubic boron nitride thin films. A review

Ye, J.; Ulrich, S.; Sell, K.; Stüber, M.; Holleck, H.; Kulisch, W.; Freudenstein, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230053218
HGF-Programm 42.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 29th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2002), San Diego, Calif., April 22-26, 2002
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page