Influence of ion energy and surface temperature on the constitution of highly tetrahedral hydrogenated carbon thin films

Sattel, S.; Pesch, P.; Lang, K. J.; Ulrich, S.; Stüber, M.; Holleck, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230053221
HGF-Programm	42.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	29th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2002), San Diego, Calif., April 22-26, 2002