Silver deposition on temperature sensitive substrates by means of an inverted cylindrical magnetron
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230053915 |
| HGF-Programm | 52.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 11.Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Ilmenau, 12.März 2003 |