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Silver deposition on temperature sensitive substrates by means of an inverted cylindrical magnetron

Amberg, M.; Geerk, J.; Keller, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230053915
HGF-Programm 52.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 11.Bundesdeutsche Fachtagung Plasmatechnologie, Ilmenau, 12.März 2003
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