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Herstellung dreidimensionaler Strukturen in SU-8 mittels Multiphotonen-Polymerisation für die Nanophotonik

Deubel, M.; Wegener, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230053992
HGF-Programm 42.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 67. Physikertagung und Frühjahrstagung des Arbeitskreises Atome, Moleküle, Quantenoptik und Plasmen (AMOP) der DPG, Fachverband Quantenoptik, Hannover, 24.-28. März 2003 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd. 38(2003) Q 49.1 Poster
Externe Relationen Abstract/Volltext
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